目前,隨著(zhù)航天、航空、軍工、核電、能源、化工等領(lǐng)域的不斷發(fā)展,
小型真空爐已成為常見(jiàn)的真空加熱設備。它利用真空系統排出爐腔內的部分物質(zhì),使爐腔內的壓力低于標準大氣壓,達到真空狀態(tài)。小型真空爐的真空系統一般由真空泵,真空閥門(mén),測量?jì)x器,管道等組成。它的真空度一般分為三類(lèi):
真空度低:一般采用機械泵作為主泵,真空度為1×105~3×103Pa。
中真空:真空爐一般由兩級真空泵組成,真空度為3×103~1×10×1Pa。初級泵多采用機械泵,主泵為羅茨泵或油增壓泵。
高真空:真空度為1×10−1~1×10−7Pa,通常由3級真空泵構成。主泵為機械泵,前級泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。
根據不同的實(shí)驗要求,不同的工件處理工藝,真空爐的真空度要求不同:
1、真空淬火熱處理可選用中空真空爐(一般極限真空度為4X10-1Pa),采用機械泵和羅茨泵結構。例如真空熱處理軸承鋼,模具鋼,結構鋼等。
2.高溫合金、鈦合金、磁性材料、真空釬焊等需要高真空度的真空爐(一般要求真空爐的極限真空度為10~4Pa)
3.對于真空燒結,或真空燒結需要通電保護氣氛,一般情況下10Pa的低真空度即可。