這3個(gè)真空燒結爐的應急措施了解嗎？

更新日期：2022-05-18 瀏覽次數：648

　　為滿(mǎn)足行業(yè)對技術(shù)要求和相關(guān)規范不斷發(fā)展的需要，真空燒結爐工藝在精確度及效率上有了很大成長(cháng)空間。真空燒結爐是一種新型工藝設備，主要用于半導體元件和功率整流器件的燒結工藝，它可以進(jìn)行真空燒結、氣體保護燒結和常規燒結。但是，在日常使用時(shí)，它的應急措施我們一定的了解！

　　加熱電源掉電

　　1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。

　　2、接地故障。

　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。

　　4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(shí)（此真空度容易發(fā)生放電）。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。

　　充氣氣體（氬氣或氮氣）停止

　　1、抽真空開(kāi)始前，氣體充入時(shí)間長(cháng)或者無(wú)法充入時(shí)，請確認氣體管路是否被堵塞。

　　2、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設備要全部停止后再進(jìn)行檢查。

　　3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。

　　4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì )影響制品質(zhì)量。

　　真空室壓力惡化

　　1、真空排氣時(shí)間比通常長(cháng)時(shí)，應把設備停下來(lái)進(jìn)行檢查，根據真空室內構造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導致壓力升高的情況。