真空燒結爐是半導體專(zhuān)用設備系列中的一種新型工藝設備,設計新穎,操作方便,結構緊湊。它可以在一臺設備上完成多個(gè)工藝流程。安裝現場(chǎng)應符合真空衛生要求,周?chē)諝馇鍧嵏稍?,通風(fēng)良好,工地不易揚塵等。 安裝真空燒結爐的場(chǎng)所應符合真空衛生的要求,周?chē)目諝鈶鍧嵑透稍?,并有良好的通風(fēng)條件,工作場(chǎng)地不易揚起灰塵等。
1、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。
2、控制柜安裝在相應的地基上,并固定。
3、安照接線(xiàn)圖,并參考電氣原理圖,接通外接主回路及控制回路,并可靠接地,保證接線(xiàn)無(wú)誤。
4、檢查電器可動(dòng)部分應活動(dòng)自如,無(wú)卡死現象。
5、絕緣電阻應不低于2兆歐姆。
6、真空電爐各閥門(mén)必須在關(guān)閉位置。
7、控制電源開(kāi)關(guān)放在關(guān)位。
8、手動(dòng)調壓旋鈕逆時(shí)針旋動(dòng)頭。
9、報警鈕放在開(kāi)位。
10、按平面圖完成設備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接,建議在設備總進(jìn)出水管處再接入一備用水(可用自來(lái)水),防止循環(huán)水有故障或斷電導致密封圈燒壞。
11、安裝完畢后,抽低真空,等水路接通后可試燒一爐,加熱手動(dòng)/自動(dòng)升溫,溫度不低于1600℃,加熱時(shí)間不少于4小時(shí),預燒結束后在降溫階段可對擴散泵加熱,擴散泵加熱時(shí)間不能小于45分鐘,然后關(guān)閉上部的小蝶閥,啟動(dòng)大擋板閥(或大蝶閥),觀(guān)察真空計的數值變化,此時(shí)真空度應很快小于0.1Pa。